浙大杭州国际科创中心采用新技术制备2英寸氧化

这个镜片一样的产品就是刚研制出的氧化镓晶圆，薄薄一片，市场价就高达数万元，对高性能功率器件研发有着重要价值。研发团队的张辉教授说，使用熔体法路线生长的氧化镓晶圆有两个显著优势，一是使用这种方法生长出的氧化镓晶圆的晶面具有特异性，使得制作的半导体功率器件具有较好的性能；二是减少了贵金属铱的使用，使得氧化镓生长过程不仅更简单可控，成本也更低，具有更大的产业化前景。

经检测，浙大科创中心采用新技术路线研制出的这批氧化镓晶圆，关键技术指标已达领域内的先进水平。

张辉说：“它主要应用在新能源汽车、轨道交通以及5G通讯等领域，未来我们希望通过2年左右的时间能够做到4英寸甚至6英寸这样的水平。”

近日，浙大杭州国际科创中心先进半导体研究院在国际上首创了采用熔体法技术路线来研制氧化镓体块单晶以及晶圆，目前已经成功制备出直径2英寸的氧化镓晶圆。

浙大硅材料国家重点实验室、浙大杭州国际科创中心先进半导体研究院教授张辉说：“氧化镓的主要用途是用在功率器件上面，相比与现在主流的氮化镓、碳化硅级的功率器件，它具有更高的工作电压、电流、功率等，因此它制作的器件具有更高的性能以及更小的尺寸。”

文章来源：《中国新技术新产品》 网址: http://www.zgxjsxcp.cn/zonghexinwen/2022/0518/897.html